產品概述
DM-10000微波等離子體CVD設備
DiaMiner系列旗艦產品是經過沃特塞恩和紐曼和瑞對HMPS系列MPCVD產品持續的打磨更新推出的專用于培育鉆石生長的一款全新產品，DiaMiner系列集成獨特的大單晶金剛石生產工藝、全自動化控制技術、高穩定性的固態功率源、半導體級的潔凈供氣系統和真空系統等技術，可實現高效率、無人化管理的穩定批量產出。
DM-10000型微波等離子體MPCVD設備可提供最大82mm金剛石生產能力，適用于大面積高品質的單晶、多晶金剛石的制備，是培育鉆石系統用戶首選，智能式操作，搭配獨特配方工藝。
性能特點
> 超潔凈級的真空系統
> 全進口的集成化供氣系統，高可靠穩定壓力控制系統
> 樣品臺冷卻系統采用Duel-Loop控制
> 自動化的工藝生長控制系統
> 在線視覺檢測功能，實時監測判斷樣品狀態、等離子狀態等
> 多重權限分級管理，完善的系統安全互鎖
> 搭配全新高功率高穩定性固態微波源
> 集成金剛石生長工藝
> 新一代大容積圓柱腔，精密設計與仿真，承載功率高
技術指標
| （1） | 型號 | DM-10000 |
| （2） | 電源 | AC380 V 三相五線制 50Hz， |
| （3） | 微波輸出功率 | 10kW ，2450MHz點頻 |
| （4） | 微波泄露 | ≤2mW/cm3@5cm |
| （5） | 功率穩定度 | 1 %（@穩態） |
| （6） | 有效沉積區域 | up to Φ 82 mm |
| （7） | 樣品臺直徑 | Φ120 mm |
| （8） | 極限真空度 | ≤3.7×1 -3 Torr或6×10-6Torr |
| （9） | 真空漏率 | ＜5x10-10Pa.m3/s |
| （10） | 單晶生長 | 生長速度10-15μm/H，單輪生長厚度≥1.6mm |
| （11） | 單晶質量 | 色度H，肉眼無瑕疵 |
| （12） | 氣體種類 | 標配四路MFC：H2:1000sccm，CH4:100sccm，O2:10sccm，N2:5sccm；可擴展為5路 |
| （13） | 壓強控制范圍 | 5-225 torr |
| （14） | 壓強控制精度 | ±0 . 1 T o r r |
| （15） | 冷卻水 | ＞65L/Min |
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